Fabrication of spherical carbon via UHF inductively coupled microplasma CVD
Fabrication of spherical carbon via UHF inductively coupled microplasma CVD
复制标题
通过 UHF 感应耦合微等离子体 CVD 制造球形碳
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Shimizu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Oroguchi;T.;C. Y. Li;K. Ishii;Y. Shimizu
基板上的多个微型等离子体CVD装置
影响因子：
2.1
作者：
Tsuyohito Ito;K. Terashima
通讯作者：
K. Terashima
B2H6 He 等离子增强化学气相沉积中硼膜生长表观活化能随基底温度变化的变化
DOI：
10.1088/0022-3727/23/9/017
发表时间：
1990
期刊：
Journal of Physics D
影响因子：
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作者：
S. Komatsu;Y. Moriyoshi
通讯作者：
Y. Moriyoshi