Three-dimensional integration of heterogeneous silicon micro-structures by liftoff and stamping transfer

Three-dimensional integration of heterogeneous silicon micro-structures by liftoff and stamping transfer
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通过剥离和冲压转移实现异质硅微结构的三维集成

DOI:
--
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发表时间:
2007
期刊:
Joumal of Micromechanics and Microengineering Vol.17
影响因子:
--
通讯作者:
Isao Shimoyama
Isao Shimoyama
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Hiroaki Onoe;Eiji Iwase;Kiyoshi Matsumoto;Isao Shimoyama

文献摘要

参考文献

被引文献

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