Fabrication of Depth-controllable Nanochannel with Polymer Nanoassembled Films Using Atomic Force Microscopy Lithography
Fabrication of Depth-controllable Nanochannel with Polymer Nanoassembled Films Using Atomic Force Microscopy Lithography
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使用原子力显微镜光刻技术用聚合物纳米组装薄膜制造深度可控的纳米通道
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takeshi Mikayama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jun Matsui;Jun Matsui;Jun Matsui;Takeshi Mikayama
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