Microfabrication of U-shaped groove on the glass surface by YAG laser irradiation and selective chemical etching
Microfabrication of U-shaped groove on the glass surface by YAG laser irradiation and selective chemical etching
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YAG激光辐照和选择性化学刻蚀在玻璃表面微加工U型凹槽
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Komatsu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Hirokawa;T.Honma;Y.Benino;T.Komatsu
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