Performance Enhancement and Restoration of Micromechanical Resonators Via UV-Ozone Treatment
Performance Enhancement and Restoration of Micromechanical Resonators Via UV-Ozone Treatment
复制标题
通过紫外线臭氧处理增强和恢复微机械谐振器的性能
DOI：
10.1109/mems51782.2021.9375184
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Nguyen, Clark T.-C.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Xie, Qianyi;Afshar, Sherwin A.;Ozgurluk, Alper;Nguyen, Clark T.-C.
基于间隙减小的 AlN 电容压电谐振器频率调谐
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
2015 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium & the European Frequency and Time Forum
影响因子：
--
作者：
R. Schneider;T. Naing;T. Rocheleau;C. Nguyen
通讯作者：
C. Nguyen
评估用于清洁 MEMS 器件中遮挡区域的氧等离子体和 UV 臭氧方法
影响因子：
2.7
作者：
D. Adam Hook;James A. Olhausen;J. Krim;Michael T. Dugger
通讯作者：
Michael T. Dugger