Development of a 3D Tunneling Current Probing System for Micro- and Nano-Coordinate Metrology
Development of a 3D Tunneling Current Probing System for Micro- and Nano-Coordinate Metrology
复制标题
开发用于微纳坐标计量的 3D 隧道电流探测系统
DOI:
10.4028/www.scientific.net/amm.870.126
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Hausotte
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Zhong Yuan;Schuler;Alexander;Hausotte
影响因子:
2.4
作者:
T. Hausotte;B. Percle;G. Jäger
通讯作者:
T. Hausotte;B. Percle;G. Jäger
DOI:
--
发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
--
作者:
T. Hausotte;F. Balzer;N. Vorbringer;E. Manske
通讯作者:
E. Manske