Development of a 3D Tunneling Current Probing System for Micro- and Nano-Coordinate Metrology

Development of a 3D Tunneling Current Probing System for Micro- and Nano-Coordinate Metrology
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开发用于微纳坐标计量的 3D 隧道电流探测系统

DOI:
10.4028/www.scientific.net/amm.870.126
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发表时间:
2017
期刊:
Applied Mechanics and Materials
影响因子:
--
通讯作者:
Hausotte
Hausotte
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Zhong Yuan;Schuler;Alexander;Hausotte

文献摘要

参考文献

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