Gold Single-Axis Differential Capacitive MEMS Accelerometer With Proof-Mass Position Control Electrode Fabricated by Post-CMOS Technology
Gold Single-Axis Differential Capacitive MEMS Accelerometer With Proof-Mass Position Control Electrode Fabricated by Post-CMOS Technology
复制标题
具有采用后 CMOS 技术制造的证明质量位置控制电极的金单轴差分电容式 MEMS 加速度计
DOI：
--
复制
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Akira Onishi;Masato Sone;Yoshihiro Miyake;et al.
(特邀)金多层金属技术制造的MEMS加速度计
DOI：
10.1149/09204.0169ecst
发表时间：
2019
期刊：
ECS Transactions
影响因子：
--
作者：
K. Machida;D. Yamane;T. Konishi;S. Iida;N. Ishihara;T. Chang;M. Sone;Hiroyuki Ito;K. Masu
通讯作者：
K. Masu
高分辨率单金质量 CMOS-MEMS 加速度计
DOI：
10.7567/ssdm.2020.c-9-02
发表时间：
2020
期刊：
Extended Abstracts of the 2020 International Conference on Solid State Devices and Materials
影响因子：
--
作者：
Takashi Ichikawa;Kohei Shibata;T. Koga;K. Machida;S. Iida;N. Ishihara;K. Masu;Hiroyuki Ito
通讯作者：
Hiroyuki Ito
自主等长收缩期间的声学肌动描记术揭示了非传播的横向振动。
影响因子：
2.4
作者：
M. Ouamer;M. Boiteux;M. Petitjean;L. Travens;A. Salès
通讯作者：
A. Salès