Subsurface Structures of Monocrystalline Silicon Generated by Nanogrinding
Subsurface Structures of Monocrystalline Silicon Generated by Nanogrinding
复制标题
纳米研磨产生的单晶硅的亚表面结构
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
L. Zhou
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Huang;Y.Q. Wu;Y. Wang;J. Zou;L. Zhou
影响因子：
3.5
作者：
Y. Wang;J. Zou;H. Huang;L. Zhou;B. Wang;Y. Wu
通讯作者：
Y. Wang;J. Zou;H. Huang;L. Zhou;B. Wang;Y. Wu
影响因子：
4.1
作者：
Eda, H;Zhou, L;Shimizu, J
通讯作者：
Shimizu, J