High-speed processing with high-energy SF_6 cluster ion beam
High-speed processing with high-energy SF_6 cluster ion beam
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高能SF_6团簇离子束高速加工
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
J. Matsuo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Seki;J. Matsuo
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大电流团簇离子束的产生
DOI：
10.1016/s0168-583x(03)00896-6
发表时间：
2003
影响因子：
1.3
作者：
T. Seki;J. Matsuo;G. Takaoka;I. Yamada
通讯作者：
I. Yamada
SF6 团簇离子束反应溅射
DOI：
10.1016/s0168-583x(96)00555-1
发表时间：
1997
影响因子：
1.3
作者：
N. Toyoda;Hiroaki Kitani;J. Matsuo;I. Yamada
通讯作者：
I. Yamada
高能气体团簇离子束轰击的影响
DOI：
10.1016/s0921-5093(96)10300-2
发表时间：
1996
影响因子：
6.4
作者：
D. Takeuchi;J. Matsuo;A. Kitai;I. Yamada
通讯作者：
I. Yamada
Ar 和 O2 团簇离子束对金刚石薄膜的表面处理
DOI：
10.1016/s0168-583x(98)00769-1
发表时间：
1999
影响因子：
1.3
作者：
N. Toyoda;N. Hagiwara;J. Matsuo;I. Yamada
通讯作者：
I. Yamada