Evaluation und Justierung eines neuartigen, hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten, konfokalen Punktsensors für axial geregelte Oberflächenmessungen mit einem Nanokoordinatenmessgerät
Evaluation und Justierung eines neuartigen, hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten, konfokalen Punktsensors für axial geregelte Oberflächenmessungen mit einem Nanokoordinatenmessgerät
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评估和调整新型高频焦距调制、光纤耦合、共焦点传感器，用于使用纳米坐标测量装置进行轴向控制表面测量
DOI：
10.1515/teme-2019-0008
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Hausotte
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Gröschl;Schaude;Hausotte
影响因子：
2.4
作者：
T. Hausotte;B. Percle;G. Jäger
通讯作者：
T. Hausotte;B. Percle;G. Jäger
影响因子：
1.9
作者：
T. Hausotte;A. Gröschl;Janik Schaude
通讯作者：
T. Hausotte;A. Gröschl;Janik Schaude