Kontinuierliche laterale Abtastung von Oberflächen durch axiale Regelung des Arbeitsabstandes in einem Nanokoordinatenmessgerät mit einem hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten, konfokalen Punktsensor / Lateral closed-loop scans of surfaces using a nano coordinate measuring system a
Kontinuierliche laterale Abtastung von Oberflächen durch axiale Regelung des Arbeitsabstandes in einem Nanokoordinatenmessgerät mit einem hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten, konfokalen Punktsensor / Lateral closed-loop scans of surfaces using a nano coordinate measuring system a
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通过在纳米坐标测量装置中轴向控制工作距离，通过高频焦距调制、光纤耦合、共焦点传感器对表面进行连续横向扫描/使用纳米坐标测量系统对表面进行横向闭环扫描
DOI：
10.1515/teme-2018-0040
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Hausotte
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Gröschl;Schaude;Hausotte
影响因子：
2.4
作者：
T. Hausotte;B. Percle;G. Jäger
通讯作者：
T. Hausotte;B. Percle;G. Jäger
影响因子：
1.9
作者：
T. Hausotte;A. Gröschl;Janik Schaude
通讯作者：
T. Hausotte;A. Gröschl;Janik Schaude