Crystallographic defects under surface morphological defects of 4H-SiC homoepitaxial films
Crystallographic defects under surface morphological defects of 4H-SiC homoepitaxial films
复制标题
4H-SiC同质外延薄膜表面形貌缺陷下的晶体缺陷
DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
et. al.
中科院分区:
文献类型:
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作者:
T. Okada;et. al.
DOI:
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发表时间:
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期刊:
影响因子:
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作者:
通讯作者:
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DOI:
10.1016/s0921-5107(98)00532-7
发表时间:
1999
期刊:
影响因子:
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作者:
T. Kimoto;N. Miyamoto;H. Matsunami
通讯作者:
H. Matsunami
影响因子:
1.5
作者:
T. Okada;T. Kimoto;H. Noda;Takahiro Ebisui;H. Matsunami;F. Inoko
通讯作者:
F. Inoko