Crystallographic defects under surface morphological defects of 4H-SiC homoepitaxial films

Crystallographic defects under surface morphological defects of 4H-SiC homoepitaxial films
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4H-SiC同质外延薄膜表面形貌缺陷下的晶体缺陷

DOI:
--
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发表时间:
2004
期刊:
Materials Science Forum Vol.457-460
影响因子:
--
通讯作者:
et. al.
et. al.
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
T. Okada;et. al.

文献摘要

参考文献

被引文献

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