MICRO-MACHINED MICRO ION SOURCE FOR FLEXIBLE AND CONCURRENT PROCESS
MICRO-MACHINED MICRO ION SOURCE FOR FLEXIBLE AND CONCURRENT PROCESS
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用于灵活并发处理的微机械微离子源
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Tamonoki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ryo Kambayashi;Tako Kato;S. Tamonoki
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通过反应性快速原子束蚀刻形成二氧化硅精细图案
影响因子：
1.4
作者：
H. Kuwano;F. Shimokawa
通讯作者：
F. Shimokawa
用于 BN 和其他硬膜形成的快原子束技术及其在减摩涂层中的应用
DOI：
10.4028/www.scientific.net/msf.54-55.399
发表时间：
1991
期刊：
Materials Science Forum
影响因子：
--
作者：
H. Kuwano
通讯作者：
H. Kuwano
DOI：
10.1116/1.573613
发表时间：
1986
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
--
作者：
H. Kuwano;K. Nagai
通讯作者：
K. Nagai
通过快速原子轰击溅射沉积形成固体润滑薄膜
DOI：
10.1116/1.573384
发表时间：
1985
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
--
作者：
H. Kuwano;K. Nagai
通讯作者：
K. Nagai