Simulations of CVD Diamond Film Growth: 2D Models for the identities and concentrations of gas-phase species adsorbing on the surface

Simulations of CVD Diamond Film Growth: 2D Models for the identities and concentrations of gas-phase species adsorbing on the surface
复制标题

CVD 金刚石薄膜生长模拟:用于确定表面吸附气相物质的特性和浓度的二维模型

DOI:
10.1557/opl.2011.438
复制
发表时间:
2011
期刊:
MRS Proceedings
影响因子:
--
通讯作者:
May P
May P
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
May P

文献摘要

参考文献

相似文献

DOI: 10.1021/jp803735a
发表时间: 2008-07
影响因子: 3.7
作者:
P. May;Y. Mankelevich
通讯作者: P. May;Y. Mankelevich
DOI: 10.1007/bf00850407
发表时间: 1972
影响因子: 0.6
作者:
A. Terekhov;E. N. Frolova
通讯作者: E. N. Frolova
通过结合分子动力学和蒙特卡罗模拟深入了解(超)纳米晶金刚石的生长
DOI: 10.1021/cg100063c
发表时间: 2010
影响因子: 3.8
作者:
M. Eckert;E. Neyts;A. Bogaerts
通讯作者: A. Bogaerts
使用动力学蒙特卡罗模型和微波等离子体和热丝化学气相沉积反应器的二维模型模拟化学气相沉积金刚石薄膜的生长
DOI: 10.1063/1.3516498
发表时间: 2010
影响因子: 3.2
作者:
May P
通讯作者: May P
CVD 金刚石生长的动力学蒙特卡罗模拟——生长、蚀刻和迁移之间的相互作用
DOI: --
发表时间: 2005
期刊:
影响因子: --
作者:
A. Netto;M. Frenklach
通讯作者: M. Frenklach