Three-Dimensional SOI-MEMS Constructed by Buckled Bridges and Vertical Comb Drive Actuator
Three-Dimensional SOI-MEMS Constructed by Buckled Bridges and Vertical Comb Drive Actuator
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由带扣桥和垂直梳状驱动执行器构成的三维SOI-MEMS
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K.Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Sasaki;D.Briand;W.Noell;N.de Rooij;K.Hane
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表面微加工微光学元件和系统
DOI：
10.1109/5.704276
发表时间：
1998
期刊：
Proc. IEEE
影响因子：
--
作者：
R. Muller;K. Lau
通讯作者：
K. Lau
具有垂直梳状驱动器的高速微机电系统 (MEMS) 扫描镜工艺
影响因子：
1.5
作者：
H. Wada;Daesung Lee;U. Krishnamoorthy;S. Zappe;O. Solgaard
通讯作者：
O. Solgaard
用于光网络的光波微型机械
DOI：
10.1364/opn.12.3.000060
发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
--
作者：
E. Goldstein;Lih Y. Lin;J. Walker
通讯作者：
J. Walker
利用玻璃表面张力旋转自组装复杂微结构
DOI：
--
发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
--
作者：
R. Syms
通讯作者：
R. Syms
SOI 中的单片高纵横比两轴光学扫描仪
DOI：
10.1109/memsys.2003.1189734
发表时间：
2003
期刊：
The Sixteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2003. MEMS-03 Kyoto. IEEE
影响因子：
--
作者：
V. Milanovic;G.A. Matus;T. Cheng;B. Cagdaser
通讯作者：
B. Cagdaser