Polarity inversion of aluminum nitride by direct wafer bonding

Polarity inversion of aluminum nitride by direct wafer bonding
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通过直接晶圆键合实现氮化铝极性反转

DOI:
10.7567/apex.11.031003
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发表时间:
2018
影响因子:
2.3
通讯作者:
H
H
中科院分区:
物理与天体物理3区
文献类型:
--
作者:
Hayashi;Y; Katayama;R; Akiyama;T; Ito;T; Miyake;H

文献摘要

参考文献

被引文献

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通讯作者: D. Alden;Wei Guo;R. Kirste;F. Kaess;I. Bryan;Tinkara Troha;A. Bagal;P. Reddy;L. Hernandez-Balderrama;A. Franke;S. Mita;Chih‐Hao Chang;A. Hoffmann;M. Zgonik;R. Collazo;Z. Sitar
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