Polarity inversion of aluminum nitride by direct wafer bonding
Polarity inversion of aluminum nitride by direct wafer bonding
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通过直接晶圆键合实现氮化铝极性反转
DOI:
10.7567/apex.11.031003
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发表时间:
2018
影响因子:
2.3
通讯作者:
H
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Hayashi;Y; Katayama;R; Akiyama;T; Ito;T; Miyake;H
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DOI:
10.1002/pssc.201001163
发表时间:
2011
期刊:
Physica Status Solidi (c)
影响因子:
--
作者:
Jonathan Wright;C. Moe;A. Sampath;G. Garrett;M. Wraback
通讯作者:
M. Wraback
影响因子:
4
作者:
D. Alden;Wei Guo;R. Kirste;F. Kaess;I. Bryan;Tinkara Troha;A. Bagal;P. Reddy;L. Hernandez-Balderrama;A. Franke;S. Mita;Chih‐Hao Chang;A. Hoffmann;M. Zgonik;R. Collazo;Z. Sitar
通讯作者:
D. Alden;Wei Guo;R. Kirste;F. Kaess;I. Bryan;Tinkara Troha;A. Bagal;P. Reddy;L. Hernandez-Balderrama;A. Franke;S. Mita;Chih‐Hao Chang;A. Hoffmann;M. Zgonik;R. Collazo;Z. Sitar
影响因子:
3.7
作者:
Akiyama, Toru;Nakane, Harunobu;Ito, Tomonori
通讯作者:
Ito, Tomonori
DOI:
10.1063/1.2836941
发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
--
作者:
Fude Liu;R. Collazo;S. Mita;G. Duscher;S. Pennycook
通讯作者:
S. Pennycook
影响因子:
4.6
作者:
Mohn, Stefan;Stolyarchuk, Natalia;Albrecht, Martin
通讯作者:
Albrecht, Martin