Design Rule and Orientation Layout for MEMS Curved Beams on Silicon
Design Rule and Orientation Layout for MEMS Curved Beams on Silicon
复制标题
硅基 MEMS 曲梁的设计规则和方向布局
DOI：
10.1109/jmems.2010.2048416
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发表时间：
2010
影响因子：
2.7
通讯作者：
U Wallrabe
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T Chen;JG Korvink;U Wallrabe
MEMS 深各向异性硅蚀刻加工的进展
DOI：
--
发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
--
作者：
H. Ashraf;J. Bhardwaj;S. Hall;J. Hopkins;A. Hynes;I. Johnston;S. McAuley;G. Nicholls;Lilian Atabo;M. Ryan;S. Watcham
通讯作者：
S. Watcham
DOI：
10.1109/memsys.2009.4805559
发表时间：
2009
期刊：
2009 IEEE 22nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
影响因子：
--
作者：
T Chen;JG Korvink;U Wallrabe
通讯作者：
U Wallrabe
基于“柔顺机构”概念的机械手机械结构
DOI：
--
发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
--
作者：
F. Lotti;P. Tiezzi;G. Vassura;A. Zucchelli
通讯作者：
A. Zucchelli