Tunable multisegment SixNy/AlN piezo lenses for wavefront correction
Tunable multisegment SixNy/AlN piezo lenses for wavefront correction
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用于波前校正的可调谐多段 SixNy/AlN 压电透镜
DOI：
10.1109/transducers.2015.7181358
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
V. Lebedev
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
V. Zuerbig;D. Pätz;J. Fries;M. Bichra;W. Pletschen;K. Holc;M. Reusch;C. E. Nebel;S. Sinzinger;O. Ambacher;V. Lebedev
自适应扫描微眼
影响因子：
2.7
作者：
D. Paetz;S. Leopold;Verena Zürbig;T. Deutschmann;H. Zappe;Claudia Duppé
通讯作者：
Claudia Duppé
压电驱动可调谐金刚石/AlN 微透镜
DOI：
10.1109/transducers.2013.6627269
发表时间：
2013
期刊：
2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII)
影响因子：
--
作者：
V. Zuerbig;D. Paetz;W. Pletschen;J. Hees;R. E. Sah;L. Kirste;N. Heidrich;V. Cimalla;C. Nebel;O. Ambacher;V. Lebedev
通讯作者：
V. Lebedev
使用 Shack-Hartmann 波前传感器测量微透镜的像差
DOI：
10.1117/12.451325
发表时间：
2002
期刊：
2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII)
影响因子：
--
作者：
P. Pulaski;J. Roller;D. Neal;Keith Ratte
通讯作者：
Keith Ratte