Measurement of Strain Distribution in InGaAsP Selective-Area Growth Layers Using a Micro-Area X-ray Diffraction Method with a Sub-mm Spatial Resolution

Measurement of Strain Distribution in InGaAsP Selective-Area Growth Layers Using a Micro-Area X-ray Diffraction Method with a Sub-mm Spatial Resolution
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使用具有亚毫米空间分辨率的微区 X 射线衍射方法测量 InGaAsP 选择性区域生长层中的应变分布

DOI:
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发表时间:
2002
期刊:
Japan. J. Appl. Phys. 41
影响因子:
--
通讯作者:
J.Matsui
J.Matsui
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
S.Kimura;Y.Kagoshima;K.Kobayashi;K.Izumi;Y.Sakata;S.Sudo;K.Yokoyama;T.Niimi;Y.Tsusaka;J.Matsui

文献摘要

参考文献

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通讯作者: T. Kagoshima