Discrete Sources Method for light scattering analysis of non-axisymmetric features of a substrate
Discrete Sources Method for light scattering analysis of non-axisymmetric features of a substrate
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用于基板非轴对称特征光散射分析的离散源方法
DOI：
10.1016/j.cpc.2015.08.009
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Wriedt T.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Eremin Yu;Wriedt T.
将离散光源法（DSM）推广到分析平面基底上非轴对称纳米结构的偏振光散射。提供了相应的数值方案的详细描述。使用一个“虚构的”粒子的方法，新的DSM模型，使考虑从这样的基板缺陷作为线凸点和线坑散射。已开发的计算机模型已被用于演示的能力，从这样的线功能的光散射进行比较分析。给出了对应于P/S偏振光的微分散射截面（DSC）和积分响应的模拟结果。结果发现，积分响应可以改变一个数量级，这取决于线性缺陷相对于入射激光的方向的取向。此外，它表明，一些缺陷可以变成“不可见”，如果一个倾斜的入射角被选择。
The Discrete Sources Method (DSM) has been extended to analyze polarized light scattering by non-axial symmetric nano-sized features on a plane substrate. A detailed description of the corresponding numerical scheme is provided. Using a “fictitious” particle approach the new DSM model enables to consider scattering from such substrate defects as a line bump and a line pit. The developed computer model has been employed for demonstrating the ability to perform a comparative analysis of light scattering from such line features. Simulation results corresponding to the Differential Scattering Cross-Section (DSC) and the integral response for P/S polarized light are presented. It was found that the integral response can change by an order of magnitude depending on the orientation of the linear defect with respect to the direction of the incident laser light. In addition, it was shown that some defects can turn out to be “invisible” if an oblique angle of incidence is chosen.
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DOI：
--
发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
--
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通讯作者：
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