Corporate Responsibility: A Green Initiative to Reduce Chlorobenzene Based Chemistries in Semiconductor Processing
Corporate Responsibility: A Green Initiative to Reduce Chlorobenzene Based Chemistries in Semiconductor Processing
复制标题
企业责任：减少半导体加工中氯苯类化学品的绿色倡议
DOI：
10.1557/adv.2019.20
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0.8
通讯作者：
Mason, John
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Farrell, Monique J.;Frey, Kevin;Mason, John
登录
查看更多内容
影响因子：
3.7
作者：
Oosterhout, Stefan D.;Savikhin, Victoria;Toney, Michael F.
通讯作者：
Toney, Michael F.
影响因子：
8.8
作者：
MacLeod, M;Mackay, D
通讯作者：
Mackay, D
有机溶剂对光刻胶的剥离
影响因子：
3
作者：
K. Papathomas;A. Bhatt
通讯作者：
A. Bhatt
可持续发展的新方法：化学摩尔定律。
影响因子：
--
作者：
M. Poliakoff;P. Licence;M. George
通讯作者：
M. George