Atomic Layer Assembly Based on Sacrificial Templates for 3D Nanofabrication.
Atomic Layer Assembly Based on Sacrificial Templates for 3D Nanofabrication.
复制标题
基于 3D 纳米加工牺牲模板的原子层组装
DOI：
10.3390/mi13060856
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发表时间：
2022-05-30
期刊：
影响因子：
3.4
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
三维纳米结构由于具有平面纳米结构无法实现的优异功能，在物理、化学、工程科学和生物器件等领域引起了广泛的关注。然而，目前三维纳米结构的制备仍然具有挑战性。可靠的制造、改进的可控性和多功能集成是在商业设备中进一步应用的需要。本文介绍和评述了一种实现三维纳米结构的强有力的制备方法，即通过各种牺牲模板进行原子层沉积辅助三维组装的方法。本文综述了基于原子层组装(ALA)的三维纳米制造技术，并介绍了近年来的研究进展，以期进一步挖掘该方法在纳米器件领域的应用潜力。
Three-dimensional (3D) nanostructures have attracted widespread attention in physics, chemistry, engineering sciences, and biology devices due to excellent functionalities which planar nanostructures cannot achieve. However, the fabrication of 3D nanostructures is still challenging at present. Reliable fabrication, improved controllability, and multifunction integration are desired for further applications in commercial devices. In this review, a powerful fabrication method to realize 3D nanostructures is introduced and reviewed thoroughly, which is based on atomic layer deposition assisted 3D assembly through various sacrificial templates. The aim of this review is to provide a comprehensive overview of 3D nanofabrication based on atomic layer assembly (ALA) in multifarious sacrificial templates for 3D nanostructures and to present recent advancements, with the ultimate aim to further unlock more potential of this method for nanodevice applications.
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