Deposition of Novel Nanocomposite Films by a Newly Developed Differential Pumping Co-Sputtering System
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通过新开发的差动泵浦共溅射系统沉积新型纳米复合薄膜
DOI:
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发表时间:
2012
影响因子:
2.9
通讯作者:
K. Matsuda and K. Terayama
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
M. Nose;T. Kurimoto;A. Saiki;K. Matsuda and K. Terayama
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影响因子:
2.7
作者:
S. Mitani;H. Fujimori;Shigeharu Furukawa;S. Ohnuma
通讯作者:
S. Ohnuma
影响因子:
5.4
作者:
Kelly, P. J.;Li, H.;Iordanova, I.
通讯作者:
Iordanova, I.
DOI:
10.1116/1.578070
发表时间:
1992
期刊:
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子:
--
作者:
M. Hahn;T. L. Hylton;K. Char;M. Beasley;A. Kapitulnik
通讯作者:
A. Kapitulnik
DOI:
--
发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
--
作者:
J. H. Hsieh;C. C. Chang;Y. K. Chang;J. Cherng
通讯作者:
J. Cherng
影响因子:
5.2
作者:
C. Wang;J. Hsieh;Y. Fu;Chuan Li;Tupei Chen;U. T. Lam
通讯作者:
U. T. Lam