Investigation of Interaction between Hydrogen Plasma and Amorphous Carbon Films
Investigation of Interaction between Hydrogen Plasma and Amorphous Carbon Films
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氢等离子体与非晶碳膜相互作用的研究
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Masanori Shinohara
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
六田朋美;近藤龍二;荒川純一;濱田俊之;迫田達也;Toshiyuki Hamada;Toshiyuki Hamada;荒川純一;六田朋美;迫田達也;六田朋美;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;H.Shibata;M.Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara
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影响因子:
3.1
作者:
W. Möller
通讯作者:
W. Möller
DOI:
10.1116/1.568939
发表时间:
1975
期刊:
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子:
--
作者:
R. Clausing;L. C. Emerson;L. Heatherly;R. Colchin;J. Twichell
通讯作者:
J. Twichell
影响因子:
3.1
作者:
E. Hoinkis
通讯作者:
E. Hoinkis
DOI:
10.1016/s0022-3115(86)80021-6
发表时间:
1986
期刊:
影响因子:
--
作者:
A. Pontau;D. Morse
通讯作者:
D. Morse
DOI:
10.1016/0022-3115(90)90386-2
发表时间:
1990
期刊:
影响因子:
--
作者:
G. Hansali;J. Bibérian;M. Bienfait
通讯作者:
M. Bienfait