Investigation of Interaction between Hydrogen Plasma and Amorphous Carbon Films

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氢等离子体与非晶碳膜相互作用的研究

DOI:
--
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Masanori Shinohara
Masanori Shinohara
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
六田朋美;近藤龍二;荒川純一;濱田俊之;迫田達也;Toshiyuki Hamada;Toshiyuki Hamada;荒川純一;六田朋美;迫田達也;六田朋美;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;H.Shibata;M.Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara

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