Aluminium nitride membranes with embedded buried idt electrodes for novel flexural plate wave devices
Aluminium nitride membranes with embedded buried idt electrodes for novel flexural plate wave devices
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用于新型弯曲板波器件的具有嵌入式埋入 idt 电极的氮化铝膜
DOI：
10.1109/transducers.2015.7181167
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
V. Lebedev
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Reusch;P. Katus;K. Holc;W. Pletschen;L. Kirste;V. Zuerbig;D. Iankov;L. Reindl;O. Ambacher;V. Lebedev
AlN 和纳米晶金刚石膜的静态和动态表征
DOI：
10.1002/pssa.201228180
发表时间：
2012
期刊：
physica status solidi (a)
影响因子：
--
作者：
F. Knoebber;Verena Zürbig;N. Heidrich;J. Hees;R. E. Sah;M. Baeumler;S. Leopold;D. Paetz;O. Ambacher;V. Lebedev
通讯作者：
V. Lebedev
压电驱动可调谐金刚石/AlN 微透镜
DOI：
10.1109/transducers.2013.6627269
发表时间：
2013
期刊：
2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII)
影响因子：
--
作者：
V. Zuerbig;D. Paetz;W. Pletschen;J. Hees;R. E. Sah;L. Kirste;N. Heidrich;V. Cimalla;C. Nebel;O. Ambacher;V. Lebedev
通讯作者：
V. Lebedev