Deposition Process of Ultra Water-repellent Thin Films by PECVD Method
Deposition Process of Ultra Water-repellent Thin Films by PECVD Method
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PECVD法沉积超疏水薄膜工艺
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
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通讯作者：
N. Shimazu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Nagasaki;K.;N. Shimazu
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DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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作者：
Y.S. Yun;et. al.
通讯作者：
et. al.
电感耦合 RF PECVD 形成 SiO:CH 超防水薄膜
DOI：
10.5916/jkosme.2011.35.3.323
发表时间：
2011
期刊：
Journal of the Korean Society of Marine Engineering
影响因子：
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作者：
Yongsup Yun
通讯作者：
Yongsup Yun
微波等离子体CVD制备的纳米纹理：在超防水表面的应用
影响因子：
5.4
作者：
Yunying Wu;M. Kuroda;H. Sugimura;Y. Inoue;O. Takai
通讯作者：
O. Takai
IEC 61162-3
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
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影响因子：
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作者：
김종현
通讯作者：
김종현