Dynamic sensor positioning in large measuring volumes by an inverse kinematic concept
Dynamic sensor positioning in large measuring volumes by an inverse kinematic concept
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通过逆运动学概念在大测量体积中进行动态传感器定位
DOI：
10.1088/1742-6596/1065/14/142009
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
R. Füßl
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
I. Ortlepp;E. Manske;R. Füßl
测量对象的增长和对亚纳米级测量精度的需求是未来纳米定位和纳米测量机（NPMM）的挑战。然而，通常的移动载物台原理将达到其极限，因为它需要更大的移动质量来进行大的测量体积。因此，提出了一种逆运动学概念的NPMMs，它允许减少移动质量到几公斤。在这个概念中，干涉仪和探头是移动的，而测量对象和干涉仪反射镜是固定的。在6个自由度上测量和控制探头位置。
The growth in measuring objects and the demand for measurement precision in the sub-nanometer range are the challenges for future nano positioning and nano measuring machines (NPMMs). However, the usual moving stage principle will reach its limits due to the larger moving masses it entails for large measuring volumes. Therefore, an inverse kinematic concept for NPMMs is proposed, which permits to reduce the moving masses to a few kilogram. In this concept, the interferometers and the probe are moved, while the measuring object and the interferometer mirrors are fixed. The probe position is measured and controlled in 6 DOF.
影响因子：
2.7
作者：
Jaeger, G.;Manske, E.;Balzer, F.
通讯作者：
Balzer, F.
Nanomessmaschine zur abbefehlerfreien Koordnmessung（用于零阿贝偏移坐标测量的纳米测量机）
DOI：
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发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
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作者：
E. Jäger;E. Manske;T. Hausotte;Hans Büchner
通讯作者：
Hans Büchner