Ion conducting Properties of Hydrogen-Containing Ta_2O_5 Thin Films Prepared by Reactive Sputtering

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反应溅射制备含氢Ta_2O_5薄膜的离子导电性能

DOI:
--
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发表时间:
2008
期刊:
Vacuum (掲載決定)
影响因子:
--
通讯作者:
H. Itoh
H. Itoh
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Y. Abe;N. Itadani;M. Kawamura;K. Sasaki;H. Itoh

文献摘要

参考文献

被引文献

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