Single-step 3D nanolithography using plasma polymerized hexane films
Single-step 3D nanolithography using plasma polymerized hexane films
复制标题
使用等离子体聚合己烷薄膜的单步 3D 纳米光刻
DOI：
10.1016/j.mee.2012.07.054
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发表时间：
2012
影响因子：
2.3
通讯作者：
Pedersen R
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Pedersen R
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影响因子：
29.4
作者：
Klein, Franziska;Richter, Benjamin;Bastmeyer, Martin
通讯作者：
Bastmeyer, Martin
影响因子：
2.3
作者：
Linden, J.;Thanner, Ch.;Oesterschulze, E.
通讯作者：
Oesterschulze, E.
用于双镶嵌加工的介电材料的直接压印
影响因子：
3.3
作者：
M. Stewart;J. Wetzel;G. Schmid;F. Palmieri;E. Thompson;E. K. Kim;David Wang;Ken Sotodeh;Kane Jen;Stephen C. Johnson;J. Hao;M. Dickey;Yukio Nishimura;R. Laine;D. Resnick;C. Willson
通讯作者：
C. Willson
用于有源光学器件的功能化 SU-8 中的灰度电子束光刻
影响因子：
6.9
作者：
S. Balslev;T. Rasmussen;P. Shi;Anders Kristensen
通讯作者：
Anders Kristensen
影响因子：
29.4
作者：
Giselbrecht, Stefan;Reinhardt, Martina;Truckenmueller, Roman
通讯作者：
Truckenmueller, Roman