Fabrication and Characterization of Flexible Electrowetting on Dielectrics (EWOD) Microlens.
Fabrication and Characterization of Flexible Electrowetting on Dielectrics (EWOD) Microlens.
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DOI：
10.3390/mi5030432
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发表时间：
2014-07-04
期刊：
影响因子：
3.4
通讯作者：
Jiang H
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Li C;Jiang H
提出了一种电润湿驱动的柔性变焦会聚微透镜。微透镜由两种不混溶的液体和软聚合物聚二甲基硅氧烷（PDMS）制成。聚对二甲苯中间层用于在PDMS上生产坚固的柔性电极。已经开发了一种低温PDMS兼容的制造工艺，以减少透镜结构上的应力。已证明该透镜能够平滑地贴合曲面。微透镜的焦距在平面上为29-38 mm，在曲面上为31-41 mm，随所施加的电压而变化。根据1951年美国空军（USAF）分辨率图表，微透镜的分辨能力为每mm 25.39线对，并且透镜像差由Shack-Hartmann波前传感器测量。讨论了弯曲表面上的焦距行为，并且对于当前的透镜，由于弯曲的PDMS基板的影响，所展示的焦距在弯曲表面上稍长。
We present a flexible variable-focus converging microlens actuated by electrowetting on dielectric (EWOD). The microlens is made of two immiscible liquids and a soft polymer, polydimethylsiloxane (PDMS). Parylene intermediate layer is used to produce robust flexible electrode on PDMS. A low-temperature PDMS-compatible fabrication process has been developed to reduce the stress on the lens structure. The lens has been demonstrated to be able to conform to curved surfaces smoothly. The focal length of the microlens is 29–38 mm on a flat surface, and 31–41 mm on a curved surface, varying with the voltage applied. The resolving power of the microlens is 25.39 line pairs per mm by a 1951 United States Air Force (USAF) resolution chart and the lens aberrations are measured by a Shack-Hartmann wavefront sensor. The focal length behavior on a curved surface is discussed and for the current lens demonstrated the focal length is slightly longer on the curved surface as a result of the effect of the curved PDMS substrate.
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影响因子：
3.8
作者：
Cheng, CC;Chang, CA;Yeh, JA
通讯作者：
Yeh, JA
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作者：
Zhu, Difeng;Zeng, Xuefeng;Jiang, Hongrui
通讯作者：
Jiang, Hongrui
影响因子：
4
作者：
Krupenkin, T;Yang, S;Mach, P
通讯作者：
Mach, P
DOI：
10.1088/0960-1317/18/6/067001
发表时间：
2008-06-01
影响因子：
2.3
作者：
Eddings, Mark A.;Johnson, Michael A.;Gale, Bruce K.
通讯作者：
Gale, Bruce K.
影响因子：
2.3
作者：
Shin, YS;Cho, K;Chang, JK
通讯作者：
Chang, JK