Design of a compact focusing lens system with short acceleration tube at 300 kV
Design of a compact focusing lens system with short acceleration tube at 300 kV
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300 kV 短加速管紧凑型聚焦透镜系统设计
DOI：
10.1016/j.nimb.2011.02.029
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发表时间：
2011
影响因子：
1.3
通讯作者：
T. Kamiya
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Ishii;T. Ohkubo;T. Kojima;T. Kamiya
使用质子束写入制造的高深宽比微结构进行电镀
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
Microelectronic Engineering 86
影响因子：
--
作者：
Y.Seki;Y.Furuta;H.Nishikawa;T.Watanabe;T.Nakata;T.Satoh;Y.Ishii;T.Kamiya
通讯作者：
T.Kamiya
通过质子束写入对硅上的抗蚀剂进行微加工
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B260
影响因子：
--
作者：
N.Uchiya;T.Harada;M.Murai;H.Nishikawa;J.Haga;T.Sato;Y.Ishii and T.Kamiya
通讯作者：
Y.Ishii and T.Kamiya