Optical emission patterns and microwave field distributions in a cylindrical microwave plasma source

Optical emission patterns and microwave field distributions in a cylindrical microwave plasma source
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圆柱形微波等离子体源中的光发射图案和微波场分布

DOI:
10.1016/s0040-6090(01)00919-1
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发表时间:
2001-06
期刊:
影响因子:
2.1
通讯作者:
Fang Fang,Rongqing Liang,Yifeng Sui,Q.Ou
Fang Fang,Rongqing Liang,Yifeng Sui,Q.Ou
中科院分区:
材料科学3区
文献类型:
--
作者:
Fang Fang,Rongqing Liang,Yifeng Sui,Q.Ou

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被引文献

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