Hydrogen retention in a tungsten re-deposition layer by hydrogen RF plasma
Hydrogen retention in a tungsten re-deposition layer by hydrogen RF plasma
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通过氢射频等离子体在钨再沉积层中保留氢
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Nishikawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Kawasaki;Y.Manabe;K.Katayama;T.Takeishi;M.Nishikawa
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DOI：
10.1088/0741-3335/51/9/095010
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
作者：
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通讯作者：
R. Tanna
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DOI：
10.1088/0031-8949/2011/t145/014030
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
作者：
V. Philipps;D. Kogut;H. Esser;G. Sergienko;M. Zlobinski;J. Coenen;S. Brezinsek;F. Nachtrodt;A. Sanyasi
通讯作者：
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影响因子：
5.4
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通讯作者：
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DOI：
10.1016/0022-3115(78)90116-2
发表时间：
1978
期刊：
影响因子：
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作者：
P. Ginot
通讯作者：
P. Ginot
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影响因子：
2.2
作者：
A. Greig;C. Charles;R. Boswell
通讯作者：
R. Boswell