Analytical formulation of modal frequency split in the elliptical mode of SCS micromechanical disk resonators
Analytical formulation of modal frequency split in the elliptical mode of SCS micromechanical disk resonators
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SCS 微机械圆盘谐振器椭圆模式中模态频率分裂的解析公式
DOI：
10.1088/0960-1317/24/2/025011
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发表时间：
2014-02
影响因子：
2.3
通讯作者：
韦学勇
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
韦学勇
本文给出了单晶硅微机械圆盘谐振器椭圆模式中频率分裂的解析公式。考虑SCS的各向异性弹性，建立了新的模态计算公式
This paper presents an analytical formulation of frequency splitting observed in the elliptical modes of single crystal silicon (SCS) micromechanical disk resonators. Taking the anisotropic elasticity of SCS into account, new formulae for computing modal
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影响因子：
4.9
作者：
Kaajakari, V;Mattila, T;Seppä, H
通讯作者：
Seppä, H
影响因子：
4.6
作者：
Lee, J. E. -Y.;Seshia, A. A.
通讯作者：
Seshia, A. A.
DOI：
10.1016/j.ijsolstr.2008.07.033
发表时间：
2008-12-01
影响因子：
3.6
作者：
Chang, Chia-Ou;Chang, Guo-En;Chen, Po-Chih
通讯作者：
Chen, Po-Chih
影响因子：
4.7
作者：
Eley, R;Fox, CHJ;McWilliam, S
通讯作者：
McWilliam, S
影响因子：
4.6
作者：
Lin, A. T-H;Lee, J. E-Y.;Seshia, A. A.
通讯作者：
Seshia, A. A.