Characterization of Hf0.3Al0.7Ox Fabricated by Atomic-Layer-Deposition Technique Using Monoenergetic Positron Beams

Characterization of Hf0.3Al0.7Ox Fabricated by Atomic-Layer-Deposition Technique Using Monoenergetic Positron Beams
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单能正电子束原子层沉积技术制备 Hf0.3Al0.7Ox 的表征

DOI:
--
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发表时间:
2004
期刊:
Jpn.J.Appl.Phys. 43(11B)
影响因子:
--
通讯作者:
K.Yamada
K.Yamada
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
A.Uedono;M.Goto;K.Higuchi;K.Shiraishi;K.Yamabe;H.Kitajima;R.Mitsuhashi;A.Horiuchi;K.Torii;T.Arikado;R.Suzuki;T.Ohdaira;K.Yamada

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