Microphotoluminescence evaluation of local for freestanding Si membranes with SiN deposition
Microphotoluminescence evaluation of local for freestanding Si membranes with SiN deposition
复制标题
采用 SiN 沉积的局部独立式 Si 膜的显微光致发光评估
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Nakashima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D.Wang;H.Yang;H.Nakashima
“激光分子束外延法室温生长 AIN/TiN 外延多层”固体薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
Thin Solid Films 516
影响因子：
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作者：
Miao Zhang;・広川 二郎・安藤 真;Wakana Hara;Wakana Hara
通讯作者：
Wakana Hara
影响因子：
3.1
作者：
Nii, H;Yamada, T;Katsumata, Y
通讯作者：
Katsumata, Y