The electric field in capacitively coupled RF discharges: a smooth step model that includes thermal and dynamic effects
The electric field in capacitively coupled RF discharges: a smooth step model that includes thermal and dynamic effects
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电容耦合射频放电中的电场：包含热效应和动态效应的平滑阶跃模型
DOI：
10.1088/0963-0252/24/6/064002
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发表时间：
2015
影响因子：
3.8
通讯作者：
R.P. Brinkmann
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
R.P. Brinkmann
研究了射频驱动电容耦合等离子体（RF-CCP）中的电场，考虑了热效应（有限电子温度）和动力学效应（有限电子质量）。引入了两个无量纲数，
The electric field in radio-frequency driven capacitively coupled plasmas (RF-CCP) is studied, taking thermal (finite electron temperature) and dynamic (finite electron mass) effects into account. Two dimensionless numbers are introduced, the ratios
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DOI：
--
发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
--
作者：
N. Xiang;F. Waelbroeck
通讯作者：
F. Waelbroeck
影响因子：
3.8
作者：
Lafleur, T.;Chabert, P.;Booth, J. P.
通讯作者：
Booth, J. P.
影响因子：
3.8
作者：
Hemke, T.;Eremin, D.;Schulze, J.
通讯作者：
Schulze, J.
低温等离子体中的等离子体鞘转变：关于碰撞修正玻姆准则的存在
DOI：
10.1088/0022-3727/44/4/042002
发表时间：
2011
期刊：
Journal of Physics D: Applied Physics
影响因子：
--
作者：
R.P. Brinkmann
通讯作者：
R.P. Brinkmann
射频偏置、高密度等离子体的鞘模型对所有 omega/omega(i) 均有效
DOI：
--
发表时间：
2000
期刊：
Physical review. E, Statistical physics, plasmas, fluids, and related interdisciplinary topics
影响因子：
--
作者：
M. Sobolewski
通讯作者：
M. Sobolewski