RF microelectromechanical system device with a lateral field-emission detector
RF microelectromechanical system device with a lateral field-emission detector
复制标题
具有横向场发射探测器的射频微机电系统装置
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Toshiyoshi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Yamashita;W.Sun;K.Kakushima;H.Fujita;H.Toshiyoshi
DOI：
10.1109/memsys.1992.187722
发表时间：
1992-02
期刊：
[1992] Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems
影响因子：
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作者：
Liwei Lin;C. Nguyen;Roger T. Howe;A. Pisano
通讯作者：
Liwei Lin;C. Nguyen;Roger T. Howe;A. Pisano
使用实验室器具的微机电系统的蒸气氢氟酸牺牲释放技术
影响因子：
1.5
作者：
Y. Fukuta;H. Fujita;H. Toshiyoshi
通讯作者：
H. Toshiyoshi