Buckling deflection and piezoelectric polarization retention of MEMS diaphragm structures for ultrasonic sensors
Buckling deflection and piezoelectric polarization retention of MEMS diaphragm structures for ultrasonic sensors
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超声波传感器 MEMS 隔膜结构的屈曲偏转和压电极化保持
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
近藤里穂
中科院分区：
文献类型：
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作者：
有本和民;中村 宏;坂本龍一;鈴木悠太;武部秀治;吉川憲昭;木下研作;大矢智之;近藤里穂
影响因子：
4.6
作者：
Dubois, MA;Muralt, P
通讯作者：
Muralt, P
压电超声微传感器的膜片偏转控制以提高灵敏度
影响因子：
4.6
作者：
K. Yamashita;Hiroki Nishimoto;M. Okuyama
通讯作者：
M. Okuyama