Kinetics of oxynitridation of 6H-SiC(1120) and the interface structure analyzed by ion scattering
Kinetics of oxynitridation of 6H-SiC(1120) and the interface structure analyzed by ion scattering
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6H-SiC(1120)氮氧化动力学及离子散射分析界面结构
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Kido
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Okawa;R.Fukuyama;Y.Hoshino;T.Nishiumura;Y.Kido
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