Ultra-high sensitive gas sensor using MEMS device
Ultra-high sensitive gas sensor using MEMS device
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采用MEMS器件的超高灵敏度气体传感器
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Watanabe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Shimanoe; K. Suematsu; K. Watanabe
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2015
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通讯作者：
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