Flexible surface acoustic wave resonators built on disposable plastic film for electronics and lab-on-a-chip applications.
Flexible surface acoustic wave resonators built on disposable plastic film for electronics and lab-on-a-chip applications.
复制标题
基于一次性塑料薄膜的柔性表面声波谐振器，适用于电子和芯片实验室应用。
DOI：
10.1038/srep02140
复制
发表时间：
2013
影响因子：
4.6
通讯作者：
Milne, W. I.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Jin, Hao;Zhou, Jian;He, Xingli;Wang, Wenbo;Guo, Hongwei;Dong, Shurong;Wang, Demiao;Xu, Yang;Geng, Junfeng;Luo, J. K.;Milne, W. I.
柔性电子是一项非常有前途的技术，可用于各种应用。目前已经开发了几种类型的柔性器件，但对柔性机电系统（MEMS）的研究还很有限。表面声波（SAW）器件不仅是必不可少的电子器件，而且是传感器和MEMS的基本组成部分。本文报道了一种利用ZnO纳米晶体沉积在廉价且可弯曲的塑料薄膜上制造柔性SAW器件的方法。柔性声表面波器件具有瑞利波和兰姆波两种波模式，谐振频率分别为198.1 MHz和447.0 MHz，信号幅值为18 dB。柔性器件具有较高的频率温度系数，因此可用作灵敏的温度传感器。此外，利用SAW已经实现了速度为3.4 cm/s的强声流和粒子浓度，显示了在电子和MEMS中的巨大应用潜力。
Flexible electronics are a very promising technology for various applications. Several types of flexible devices have been developed, but there has been limited research on flexible electromechanical systems (MEMS). Surface acoustic wave (SAW) devices are not only an essential electronic device, but also are the building blocks for sensors and MEMS. Here we report a method of making flexible SAW devices using ZnO nanocrystals deposited on a cheap and bendable plastic film. The flexible SAW devices exhibit two wave modes - the Rayleigh and Lamb waves with resonant frequencies of 198.1 MHz and 447.0 MHz respectively and signal amplitudes of 18 dB. The flexible devices have a high temperature coefficient of frequency and are thus useful as sensitive temperature sensors. Moreover, strong acoustic streaming with a velocity of 3.4 cm/s and particle concentration using the SAW have been achieved, demonstrating the great potential for applications in electronics and MEMS.
登录
查看更多内容
DOI：
10.1109/tuffc.2008.662
发表时间：
2008-02-01
影响因子：
3.6
作者：
Le Brizoual, Laurent;Sarry, Frederic;Pastureaud, Thomas
通讯作者：
Pastureaud, Thomas
影响因子：
4.6
作者：
Lemke, Thomas;Biancuzzi, Giovanni;Woias, Peter
通讯作者：
Woias, Peter
用于新型高性能柔性锂离子电池的分层三维 ZnCo2O4 纳米线阵列/碳布阳极
影响因子：
10.8
作者：
Liu, Bin;Zhang, Jun;Shen, Guozhen
通讯作者：
Shen, Guozhen
影响因子：
6.1
作者：
Guttenberg, Z;Müller, H;Wixforth, A
通讯作者：
Wixforth, A
DOI：
10.1115/1.3607696
发表时间：
1967-01-01
期刊：
JOURNAL OF APPLIED MECHANICS
影响因子：
--
作者：
ACHENBACH, JD;KESHAVA, SP
通讯作者：
KESHAVA, SP