Surface Acoustic Wave Properties of Atomically-Flat-Surface Aluminum Nitride Epitaxial Film on Sapphire
Surface Acoustic Wave Properties of Atomically-Flat-Surface Aluminum Nitride Epitaxial Film on Sapphire
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蓝宝石表面原子平面氮化铝外延膜的表面声波特性
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Uehara;et al.
(0001)面蓝宝石和6H-SiC衬底上的高质量AlN外延薄膜
DOI：
10.1002/pssc.200303392
发表时间：
2003
期刊：
Physica Status Solidi (c)
影响因子：
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作者：
T. Shibata;K. Asai;S. Sumiya;M. Mouri;Mutsuhiro Tanaka;O. Oda;H. Katsukawa;H. Miyake;K. Hiramatsu
通讯作者：
K. Hiramatsu
MOVPE 生长的高质量外延 AlN 薄膜的表征
DOI：
10.1557/proc-693-i9.3.1
发表时间：
2001
期刊：
MRS Proceedings
影响因子：
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作者：
T. Shibata;K. Asai;T. Nagai;S. Sumiya;Mitsuhiro Tanaka;O. Oda;H. Miyake;K. Hiramatsu
通讯作者：
K. Hiramatsu
采用 O2 等离子体灰化技术进行电子束曝光制造的 5 GHz 范围 SAW 滤波器
DOI：
10.7567/jjaps.25s1.154
发表时间：
1986
期刊：
影响因子：
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作者：
K. Yamanouchi;T. Meguro;Zhuohui Chen
通讯作者：
Zhuohui Chen