Integrated Planar 6-DOF Nanopositioning System
Integrated Planar 6-DOF Nanopositioning System
复制标题
集成平面六自由度纳米定位系统
DOI：
10.1016/j.ifacol.2019.11.693
复制
发表时间：
2019
影响因子：
--
通讯作者：
D. Dontsov
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Gorges;S. Hesse;C. Schäffel;I. Ortlepp;E. Manske;E. Langlotz;D. Dontsov
影响因子：
2.4
作者：
S. Hesse;C. Schäffel;H. Mohr;M. Katzschmann;H. J. Büchner
通讯作者：
S. Hesse;C. Schäffel;H. Mohr;M. Katzschmann;H. J. Büchner
影响因子：
2.4
作者：
Manske, Eberhard;Jaeger, Gerd;Fuessl, Roland
通讯作者：
Fuessl, Roland