Formation of graphite re-deposition layer by hydrogen RF plasma
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氢射频等离子体形成石墨再沉积层
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Nishikawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Katayama;H.Nagase;Y.Manabe;Y.Kodama;T.Takeishi;M.Nishikawa
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