Overcoated diamond tips for nanometer-scale semiconductor device characterization
Overcoated diamond tips for nanometer-scale semiconductor device characterization
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用于纳米级半导体器件表征的涂层金刚石尖端
DOI：
10.1016/j.mee.2014.11.023
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发表时间：
2015
影响因子：
2.3
通讯作者：
Vandervorst, W.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hantschel, T.;Tsigkourakos, M.;Kluge, J.;Werner, T.;Zha, L.;Paredis, K.;Eyben, P.;Nuytten, T.;Xu, Z.;Vandervorst, W.
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影响因子：
3.5
作者：
Chiodarelli, Nicolo';Masahito, Sugiura;Vereecken, Philippe M.
通讯作者：
Vereecken, Philippe M.
S 形双弹簧结构，具有高刚度和弹簧高度
DOI：
--
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
作者：
T. Hantschel;E. Chow
通讯作者：
E. Chow
与 KOH 硅蚀刻相关的颗粒沉淀
DOI：
--
发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
--
作者：
C. Nielsen;C. Christensen;C. Pedersen;E. Thomsen
通讯作者：
E. Thomsen
用于纳米电子器件结构电探测的金刚石纳米探针
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
T. Hantschel;T. Clarysse;A. Ajaykumar;F. Seidel;M. Tsigkourakos;T. Nuytten;K. Paredis;P. Eyben;B. Majeed;D. Tezcan;W. Vandervorst
通讯作者：
W. Vandervorst
用于纳米电子器件结构电学分析的 TiN 扫描探针
DOI：
--
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
作者：
T. Hantschel;A. Schulze;U. Celano;A. Moussa;K. Arstila;P. Eyben;B. Majeed;D. Tezcan;Thilo Werner;W. Vandervorst
通讯作者：
W. Vandervorst