Fabrication of Dot-like Nano-protrusions on Silicon Surfaces by Nanosecond Pulse Nd : YAG Laser Irradiation
Fabrication of Dot-like Nano-protrusions on Silicon Surfaces by Nanosecond Pulse Nd : YAG Laser Irradiation
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纳秒脉冲 Nd: YAG 激光照射在硅表面制造点状纳米突起
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and T. Kato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Yoshida;S. Watanabe;S. Yatsu;M. Kawai;and T. Kato
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