Molecular-dynamics simulations of crystal growth of silicon thin films by excimer laser annealing

Molecular-dynamics simulations of crystal growth of silicon thin films by excimer laser annealing
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准分子激光退火硅薄膜晶体生长的分子动力学模拟

DOI:
--
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发表时间:
2005
期刊:
Digest of Technical Papers of AM-LCD'05
影响因子:
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通讯作者:
T.Warabisako
T.Warabisako
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
S.Munetoh;T.Kuranaga;B.M.Lee;T.Motooka;T.Endo;T.Warabisako

文献摘要

参考文献

被引文献

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发表时间: 2005
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作者:
S.Munetoh;T.Kuranaga;B.M.Lee;T.Motooka;T.Endo;T.Warabisako
通讯作者: T.Warabisako