Synthesis and Resist Properties of Hyperbranched Polyacetals
Synthesis and Resist Properties of Hyperbranched Polyacetals
复制标题
超支化聚缩醛的合成及抗蚀性能
DOI：
10.2494/photopolymer.28.125
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发表时间：
2015
影响因子：
0.8
通讯作者：
T. Kozawa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hiroto Kudo;Shuhei Matsubara;Hiroki Yamamoto;T. Kozawa
烷氧基和金刚酯侧基Noria（水轮状大环）衍生物的合成、性能及其在极紫外（EUV）抗蚀剂中的应用
影响因子：
2.1
作者：
Nobumitsu Niina;Hiroto Kudo;Hiroaki Oizumi;Toshiro Itani;and Tadatomi Nishikubo
通讯作者：
and Tadatomi Nishikubo
影响因子：
--
作者：
Kudo, Hiroto;Watanabe, Daisuke;Ober, Christopher K.
通讯作者：
Ober, Christopher K.