Synthesis and Property of Noria (Water-Wheel Like Macrocycle) Derivatives with Pendant Alkoxyl and Adamantyl Ester Groups, and Their Application for Extreme Ultraviolet (EUV) Resist
Synthesis and Property of Noria (Water-Wheel Like Macrocycle) Derivatives with Pendant Alkoxyl and Adamantyl Ester Groups, and Their Application for Extreme Ultraviolet (EUV) Resist
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烷氧基和金刚酯侧基Noria（水轮状大环）衍生物的合成、性能及其在极紫外（EUV）抗蚀剂中的应用
DOI：
--
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
and Tadatomi Nishikubo
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Nobumitsu Niina;Hiroto Kudo;Hiroaki Oizumi;Toshiro Itani;and Tadatomi Nishikubo
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